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王非
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来源:匠岭科技

半导体光学量测设备研发商匠岭科技完成数亿元B轮及B+轮融资

1天前
融资汇
本轮融资由石溪资本(B轮领投方)、启明创投(B+轮领投方)联合合肥产投国正、临港数科基金、元禾璞华、混沌投资等共同完成。

来源:猎云网

近日,半导体光学量测设备研发商匠岭科技完成数亿元B轮及B+轮融资,本轮融资由石溪资本(B轮领投方)、启明创投(B+轮领投方)联合合肥产投国正、临港数科基金、元禾璞华、混沌投资等共同完成,老股东冯源资本也多次追加投资。

据了解,本轮融资将主要用于新产品研发和规模化产能布局,进一步推动半导体量检测设备的自主创新与国产化替代。

董事长蒋俭威表示,国内半导体量测设备年采购额超300亿元,但自主化率不足5%,匠岭的目标是通过技术突破,助力产业链实现“从0到100”的跨越。

匠岭科技(上海)有限公司成立于2019年3月,核心技术团队由全球半导体头部企业资深专家组成,平均行业经验超过15年,研发人员占比超50%,硕博人才比例达40%。

据介绍,匠岭科技聚焦前道工艺控制中的**关键薄膜量测(Critical Thin Film Thickness)与光学关键尺寸量测(Optical Critical Dimension, OCD)**两大核心技术领域,通过自主研发实现了多项突破:

TFT系列薄膜量测设备:采用高精度光学系统与光谱算法,攻克了金属互连层(超薄膜叠层)与栅极氧化层(超薄单层膜)的国际性量测难题,支撑了本土晶圆厂稀缺工艺的稳定量产。

OCD量测设备:突破光学线宽测量技术壁垒,适配先进制程的工艺迭代需求,成为国内首家实现该领域国产化的企业。

目前,匠岭科技已形成四大产品系列、20余款设备的完整矩阵,覆盖晶圆制造、先进封装、化合物半导体等领域,并成功打入欧洲、东南亚及中国台湾市场。

值得一提的是,2024年12月18日,匠岭科技全球总部在上海临港新片区正式启用。这座集研发办公、千级洁净室、多功能展厅于一体的现代化综合体,不仅为公司提供了技术创新的核心基地,也为客户搭建了样品测试中心,全面展示最新科研成果。

与此同时,匠岭科技与浙江亿方杭创达成战略合作,成立“双翼”联合实验室,推动半导体量测设备与高端算力的深度融合,以提升检测效率与精度,赋能产业智能化升级。

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